产品型号: EX-3000 品牌:日本电测 产品简介: 本机能精确测量较细小物件镀膜厚度,可进行单层及多层膜厚测定、合金膜厚成份比同时测定及无素的光谱峰值测定分析。 主要技术参数: 仪器特点: 搭载MS-WINDOWS系统(优越的操作性与高精度测定) 使用与IBM PC兼容个人电脑,采用MS-WINDOWS软体,使用时多彩多姿。 采用二种滤波器 用用数位式滤波器外另**械式滤波器(两种滤波器),在测定时,若是较适当的条件下, 经常可得到较高的精度。 准值仪5种孔径内藏式 较小的准值仪孔径仅0.1 mm,可测定较微小的部品。 标准:0.1,0.2,0.5,1.0,2.0另备有2种特别规格可供选购。 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5 0.05*0.5,0.1,0.2,0.3,0.5 自动测定测量台 利用鼠标来调整测量位置,非常敏捷快速。或是测量位置已完成登陆时,可连续自动测定, 利用座标补正、连结频道,来应付各种测量轨迹。亦可用自动测定来作标准片校正。 优越的显示机能 测定部显示尽像的表示 X线照射部可由WINDOWS画面上取得照射部的表示。从准仪照射测定物的位置,可由倍率 率更机能来实现尽面上测出物放大。 在膜厚测定中的能谱表示 由多频分析器可快速处理能谱分析。可执行测定物的能谱分析表示,操作简单。 提长资料处理的速度 充实测量报告的作成机能 采用MS-WINDOW软件,测定画的撷取,非常简便,可充衬测量报告的制作机能。可同时间 隔处理多项工作,机器在测量中亦可处理其它工作:包括如测量报告的制作。 测定物膜厚附着分布表示 以三次元图案来表示测定物膜厚附着状态的分布,作判定时一目了然。 获得安心的保证性。 自己诊断机能及X线管保食机能 自己诊断机能,*的对策来排除机器的因扰。附有X线管的使用时间及耐久时间表示机能, 可加强保养的安全性。 仪器详细介绍: 1. X线源:油浸式1.2mA小型微小焦点X线管. 50kV管电压,可变管电压。 2. 照射方式:由上而下垂直照射方式。 3. 检出器:比例计数管。 4. 滤波器:采用 Co 和 Ni 双滤波器及数字式滤波器,可单一或同时使用。 5. 准直仪:Collimator 采用五种孔径一体成型式,可自动切换使用。 0.1,0.2,0.5,1.0,2.0φ㎜. (选购) 0.05×0.5,0.05,0.1,0.2,0.5φ㎜. (选购) 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5φ㎜. 6. 样品观测系统:彩色CCD及高画质显示屏。 7. 多能谱分析器:使用256高频分析器,光谱自动分析,在执行测量及运算时,非常快速。 贰. 计算机操作部: 8. 计算机系统:(※仅供参考) IBM 兼容中文个人计算机. CPU:Intel Celeron 1GHz. RAM:128 MB. Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk:40 GB. 17" 高画质显示屏. EPSON彩色喷墨式打印机。 9. 本机型(CO**OS-1X系列)之操作系统采中文窗口(Windows98)对话式操作,非常简便。 -1- 参. 特性说明: 10. 测量项目: 单层膜厚测定. 2层膜厚测定. 3层膜厚测定. 无电解镍膜厚测定. 合金膜厚成份比同时测定. 元素的光谱峰值测定分析. 11. 测量材质:原子序22(Ti) ~ 82(Pb)为激发法测量。 原子序22以下为吸收法测量。 12. 测量范围:原子序22 ~ 24 , 约 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 约 0.1 ~ 30 um. 原子序 41 ~ 51 , 约 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 约 0.05~ 10 um. 13. 测量机能: 同一点重复测定机能 输出形式设定. 能谱测定. 14. 测量条件或膜厚规格可以保存. 当要测量相同的制品时,若测量条件已储存,可以马上进行测量。 较大检量线档案数:可登录储存100组档案。 较大测量档案数 :可登录储存300组档案。 15. 档案记录: 每一个批号可储存无限个测量数据.(因所使用的计算机之容量大小而定) 每一个测量档案可输入及储存公司名称. 每个批号可单独执行统计处理. -2- 每个测量档案可输入不同的检量线(校正曲线). 16. 数据处理: 统计值表示:平均值、标准偏差、较大值、较小值、上下限值范围、Cp、Cpk。 X-R 管制图. 柱状图:有自动设定及自己任意设定二种方式。 可彩色打印观物显示屏上所观测之图像。 17. 底材补正:当样品与标准片的底材不同时,可作底材补正。 18. 观物显示屏:十字刻度线的高分辨率彩色观物显示屏。 肆. 安全装置. 19. 本机俱有自动安全断电系统功能. 20. 由锁匙开关来控制X 线输出,以防止外人任意操作. 伍. 其它机能. 21. 密码辨识功能 22. 装置维护调整. 23. 测量部主机: 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量:约 44.2 Kg. 24. 操作部:(※仅供参考) 计算机尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量:约 8.8 Kg. 显示屏尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量:约16.5 Kg. 打印机尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量:约 4.3 Kg. -3- 柒. X-Y-Z轴可移动式测量台. 25. 测量台尺寸及移动量. 测量台尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ 移动量(X-Y-Z轴) 70 ×70 ×50 ㎜. 26. 测量样品限制. 样品限制高度: 45㎜ 样品限制重量: